BASF Exactus® 系列测温仪EX-C-7FL,红外测温仪测温范围100-1800℃,精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。适用于AIXTON G3, G4, G5以及国内设备厂MOCVD的蓝宝石光管红外测温系统
XACTUS®提供:
使用短波长进行低温测量(25°C 或更高)
使用 200nm 红外辐射测量低至 900°C 的单晶硅
精度高,分辨率高达0.001°C,精度高达1.5°C
速度高达每秒 1,000 个读数
在任何给定波长下具有宽动态范围
测温重复性 0.1 ºC , 温漂不高于 0.1 ºC
精密度高, 分辨率达 0.01 ºC , 测温精度1.5 ºC
硅晶生长
薄膜沉积
激光/感应焊接
玻璃加工
工业加热
典型应用