产品详情
  • 产品名称:EX-S-3FPSIC外延设备的控温系统

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  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
EXACTUS®光学温度传感器*初设计用于半导体温度测量应用,在非接触式温度测量方面具有显著的性能优势。EXACTUS®高温计的应用包括半导体、容器玻璃、玻璃纤维拉拔、塑料焊接、工业加热、激光和超声医疗技术。 新网站还包括产品图纸、用户指南和巴斯夫TemperaSure®。该图形软件使用户能够配置仪器设置,并记录从EXACTUS®高温计获得的温度读数
详情介绍:

BASF Exactus® EX-S-3FP高温计主要应用于类似于 LPE公司SIC外延设备的控温系统,常见测温范围125-2200℃,精度高达1.5, 重复性0.1

技术参数

测量参数

温度范围:


125 – 2200℃

工作波长:

700 - 1650 nm

测量精度:

优于1.5℃ 0.15%测值

分辨率:

0.01℃

重复精度:

0.1℃

温度漂移:

 0.10℃/
环境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它温度

测量速率:

1000 测值/, 响应时间1ms


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