文章详情
半导体行业气体泄漏检测
日期：2026-01-14 19:33
浏览次数：4
摘要：
晶圆制造过程中需要使用大量的气体，用于干法刻蚀、气动机械臂、洁净室通风等。这些气体等从无尘室外围，透过纵横分布的管道，直接输送到各类制造设备上。
晶圆厂投入使用6-12个月后，输送气体的管道就可能出现老化、泄漏现象。而半导体厂所用的气体很多是易爆，有毒气体，每一个微小的泄漏都可能带来极大的能量、效率损失，甚
至**隐患。因此，对气体管道进行泄漏点的快速排查即极为重要。
产品推荐
Fluke ii900系列 气体泄漏测试仪
● 可广泛用于压...
晶圆制造过程中需要使用大量的气体，用于干法刻蚀、气动机械臂、洁净室通风等。这些气体等从无尘室外围，透过纵横分布的管道，直接输送到各类制造设备上。
晶圆厂投入使用6-12个月后，输送气体的管道就可能出现老化、泄漏现象。而半导体厂所用的气体很多是易爆，有毒气体，每一个微小的泄漏都可能带来极大的能量、效率损失，甚
至**隐患。因此，对气体管道进行泄漏点的快速排查即极为重要。
产品推荐
Fluke ii900系列 气体泄漏测试仪
● 可广泛用于压缩气体泄漏探查、产品的气密性检测、及高压电气设备的局部放电
● 发现气动工具压缩管线泄漏，保证产线稳定运行
● 全厂气体管道泄漏排查，避免能耗增加，提高生产效益
● 易燃易爆气体泄漏，实现环境**排查
